本發(fā)明適用于潔凈檢測領域，特別是一種不揮發(fā)性殘留物(nvr)潔凈檢測方法。
背景技術：
1、光學元件在高通量激光的影響極易由于污染而造成損傷，所以潔凈對于高功率激光裝置尤其重要，通常工作在百級潔凈環(huán)境中。高功率激光裝置常見的污染物一般分為兩類：顆粒物和有機物。顆粒物一般可以通過清洗和擦拭進行去除，通過沖洗過濾法進行檢測，或者肉眼經(jīng)過紫外線協(xié)助進行辨認。而有機污染物，尤其是不揮發(fā)性殘留有機物主要由機加工產(chǎn)生，潔凈度要求高，檢測難度大，檢測環(huán)境要求嚴苛，有時還需要異地檢測等。
2、現(xiàn)有的潔凈檢測方法，尤其是沖洗取樣檢測方法，存在檢測方法復雜、無法在空間狹小的地方(如有許多障礙的小型箱體)進行采樣、異地采樣時，沖洗采樣的溶液攜帶不方便，容易泄露，采樣時可能會有液體飛濺、對環(huán)境潔凈要求高等缺點，而其他檢測方法精度不高，所以亟需一種滿足異地便捷采樣的高精度nvr潔凈檢測方法。
技術實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的是為解決上述現(xiàn)有的技術問題，提供一種不揮發(fā)性殘留物(nvr)潔凈檢測方法。該檢測方法采樣樣方便，可以在環(huán)境復雜的區(qū)域進行采樣，攜帶方便，檢測精度高，能夠滿足nvr百級潔凈檢測，適用于異地便捷取樣。
2、本發(fā)明的技術解決方案是提出了一種不揮發(fā)性殘留物(nvr)潔凈檢測方法，主要通過采樣、萃取、過濾、烘烤、稱重和計算等步驟實施實現(xiàn)nvr的精準測量，具體包括以下步驟：
3、s1燒杯預處理：取兩個潔凈燒杯a、燒杯b進行高溫預烘烤，而后冷卻靜置，使用精密天平進行稱重，獲得初始重量分別為m1和m2；
4、s2本底對照組準備：取一定質量的潔凈脫脂棉，采用甲醇溶劑進行潤濕，未經(jīng)采樣，直接放入潔凈密閉容器c中，作為本底對照組；
5、s3采樣組準備：取與s2步驟中相同質量的潔凈脫脂棉，采用甲醇溶劑進行潤濕，對待檢測工件表面取一定面積進行擦拭，取樣面積為s，取樣完成后放入潔凈密閉容器d中，完成采樣，作為采樣組；
6、s4?nvr超聲萃取：將s2步驟得到的含有脫脂棉的潔凈密閉容器c和s3步驟取樣得到的含有脫脂棉的潔凈密閉容器d分別加入相同體積的甲醇溶劑，作為萃取劑，然后將燒杯c和d放入超聲波清洗機中進行nvr超聲萃??；
7、s5顆粒物過濾：各使用一組潔凈注射器和針頭過濾器，分別對s4步驟中潔凈密閉容器c和潔凈密閉容器d中萃取過的甲醇溶液進行過濾，去除顆粒物，將過濾后的溶液分別轉入s1步驟得到的潔凈燒杯a和b中；
8、s6烘烤與稱重：將s5步驟得到的含有甲醇溶劑的燒杯a和燒杯b放入真空潔凈烘箱進行充分烘烤，然后冷卻靜置后稱重，獲得本底對照組和采樣組重量m3和m4；
9、s7?nvr值計算：工件表面的nvr＝((m4-m2)-(m3-m1))/(10s)；
10、進一步的，s1步驟中，所述潔凈燒杯a和燒杯b自身nvr殘留均小于0.05mg，所述的真空潔凈烘箱真空度為10-1pa-10-3pa，所述預烘烤溫度為60℃-70℃，烘烤時間為0.5小時，預烘烤后冷卻靜置時間為0.5-1小時；稱重使用的儀器是精度為0.01mg精密天平，稱重環(huán)境為20℃±3℃，濕度為(55％±10％)rh，無氣流擾動，稱量次數(shù)為5次，取平均值；
11、進一步的，s2步驟中，所述潔凈密閉容器c為潔凈燒杯或pe材質潔凈塑料杯，s3步驟中所述潔凈密閉容器d為潔凈燒杯或pe材質潔凈塑料杯；
12、進一步的，s3步驟中，所述脫脂棉初始重量為1g，自身nvr殘留小于0.05mg，所述擦拭取樣面積s為0.1m2，沿著同一方向擦拭3次，所述甲醇溶液級別為梯度級；
13、進一步的，s4步驟中，所述超聲波清洗機頻率為25khz-40khz，功率為400w-600w，超聲萃取時間為15-30分鐘，所述潔凈密閉容器c和d中作為萃取劑的甲醇溶液等級為梯度級，使用體積為40ml-50ml；
14、進一步的，s5步驟中，所述的注射劑和針頭過濾器自身nvr小于0.05mg；所述針頭過濾器濾膜材質為ptfe，濾徑為0.2μm；
15、進一步的，s6步驟中，所述的真空潔凈烘箱真空度為10-1pa-10-3pa；所述充分烘烤溫度為60℃-70℃，烘烤時間為2-3小時，充分烘烤后冷卻靜置時間為0.5-1小時；稱重使用的儀器為精度為0.01mg精密天平，稱重環(huán)境為20℃±3℃，濕度為(55％±10％)rh，無氣流擾動，稱量次數(shù)為5次，取平均值。
16、本發(fā)明的技術效果：
17、根據(jù)本發(fā)明的技術解決方案，可以空間狹小的地方(如有許多障礙的小型箱體)進行采樣，異地采樣時，攜帶方便，且對環(huán)境潔凈要求不高，因此本檢測方法能夠滿足異地便捷取樣要求。同時，通過本檢測方法測量，空白測試表面污染殘留數(shù)據(jù)穩(wěn)定，nvr的最終測量結果準確，可實現(xiàn)nvr的精準測量。
1.一種不揮發(fā)性殘留物(nvr)潔凈檢測方法，其特征在于，主要通過采樣、萃取、過濾、烘烤、稱重和計算等步驟實施實現(xiàn)nvr的精準測量，具體包括以下步驟：
2.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s1步驟中，所述潔凈燒杯a和燒杯b自身nvr殘留均小于0.05mg，所述的真空潔凈烘箱真空度為10-1pa-10-3pa，所述預烘烤溫度為60℃-70℃，烘烤時間為0.5小時，預烘烤后冷卻靜置時間為0.5-1小時；稱重使用的儀器是精度為0.01mg精密天平，稱重環(huán)境為20℃±3℃，濕度為(55％±10％)rh，無氣流擾動，稱量次數(shù)為5次，取平均值。
3.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s2步驟中，所述潔凈密閉容器c為潔凈燒杯或pe材質潔凈塑料杯，s3步驟中所述潔凈密閉容器d為潔凈燒杯或pe材質潔凈塑料杯。
4.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s3步驟中，所述脫脂棉初始重量為1g，自身nvr殘留小于0.05mg，所述擦拭取樣面積s為0.1m2，沿著同一方向擦拭3次，所述甲醇溶液級別為梯度級。
5.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s4步驟中，所述超聲波清洗機頻率為25khz-40khz，功率為400w-600w，超聲萃取時間為15-30分鐘，所述潔凈密閉容器c和d中作為萃取劑的甲醇溶液等級為梯度級，使用體積為40ml-50ml。
6.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s5步驟中，所述的注射劑和針頭過濾器自身nvr小于0.05mg；所述針頭過濾器濾膜材質為ptfe，濾徑為0.2μm。
7.根據(jù)權利要求1所述的不揮發(fā)性殘留物潔凈檢測方法，其特征在于，s6步驟中，所述的真空潔凈烘箱真空度為10-1pa-10-3pa；所述充分烘烤溫度為60℃-70℃，烘烤時間為2-3小時，充分烘烤后冷卻靜置時間為0.5-1小時；稱重使用的儀器為精度為0.01mg精密天平，稱重環(huán)境為20℃±3℃，濕度為(55％±10％)rh，無氣流擾動，稱量次數(shù)為5次，取平均值。